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SPR3000系列 粗糙度轮廓仪

精度更高,性能更稳定 高精度数字式轮廓传感器 粗糙度、大量程轮廓测量的复合机型

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落地式结构,一体化多层防震结构
3000系列推出的新系列机台,外观更加美观大气,抗振效果更佳。

搭载温度传感器
仪器搭载了温度传感器,软件界面实时显示外界温度,可监控仪器在不同温度状态下的精度表现。
 

大量程高精度轮廓传感器

轮廓测量·高精度传感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm

 

自主研发宽范围粗糙度传感器

粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)



项目规格
  测量范围  X轴0-220mm可选
  Z轴0-620mm可选
  Z1轴C:0-±30mm可选/R:±620μm
  Z1轮廓线性精度≤±(0.6+|0.02H|)μm
  Z1粗糙度指示精度≤±(5nm+2.5%)