本仪器具备CNC测量功能同批次工件可进行批量测量。
本仪器采用非接触式传感器，线性好，精度高。
本仪器具备CNC测量功能同批次工件可进行批量测量。
本仪器采用非接触式传感器，线性好，精度高。
可评价粗糙度、波纹度、轮廓度等数百项参数。
软件可显示R曲线、W曲线、P曲线。
X方向测量：350mm
X方向分辨率：0.1μm
传感器量程：200μm
传感器分辨率：0.008μm
Z方向立柱移动范围：100mm
Y方向移动范围：350mm
| 项目 | 参数 | |
| 技术参数 | 线性精度 | ≤±(5nm+2.8%) |
| 残值噪声 | ≤0.005μm | |
| 重复性 | ±5% | |
| 截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Z轴驱动方式 | 电动 | |
| Y轴驱动方式 | 电动 | |
| X轴驱动速度 | 0.05~15mm/s | |
| Z轴驱动速度 | 0.2-15mm/s | |
| Y轴驱动速度 | 0.05~15mm/s | |
